SLA5850S1GAB1C2A1 BỘ ĐIỀU KHIỂN VÀ ĐO LƯU LƯỢNG BROOKS INSTRUMENT VIETNAM
MASS FLOW CONTROLLER
Model: SLA5850S1GAB1C2A1
Hãng sản xuất: Brooks Instrument
Nhà cung cấp: DIGIHU Vietnam
Thông số kỹ thuật
| Phạm vi lưu lượng (Công suất toàn quy mô) | 0,003 – 2500 slpm |
| Sự chính xác |
17025 Thiết bị được chứng nhận (Bao gồm độ tuyến tính, loại trừ độ không đảm bảo đo của hệ thống hiệu chuẩn, theo SEMI E69) ±0,6% SP (20-100% FS) ±0,12% của FS (<20% FS) 1100 slpm lên đến 2500 slpm: ±0,6% FS Thiết bị tiêu chuẩn (bao gồm độ không đảm bảo từ các tiêu chuẩn tham khảo ±0,9% SP (20-100% FS) ±0,18% của FS (2-20% FS) 1100 slpm lên đến 2500 slpm: ±1,0% của FS |
| Thời gian đáp ứng | 0,003 – 100 slpm: <1 giây
100 – 2500 slpm: <3 giây |
| Áp lực tối đa | 0,003-200 slpm: 1500 psi/103 thanh
100 – 2500 slpm: 1000 psi/70 bar Thanh 4500 psi/310 tùy chọn trên thiết bị tối đa 50 slpm |
| Nhiệt độ hoạt động | 65oC |
| Phạm vi áp suất chênh lệch | Controllers
.003 – 50 lpm: 5 psi / 0.35 bar 50 – 100 lpm: 10 psi / 0.69 bar 500 lpm: 7.5 psi / 0.52 bar 1000 lpm: 14.5 psi / 1.00 bar 2500 lpm: 35.0 psi / 2.41 bar |
| Ngõ ra | 0-5V, 1-5V, 0-10V, 0-20mA, 4-20mA |
| Truyền thông | DeviceNet™ EtherCAT® EtherNet/IP™ FOUNDATIONTM Fieldbus Profibus® PROFINET RS-485 |
| Nguồn điện | Analog / Profibus® / RS-485
Valve Orifice > 0.032″: 8 Watts Valve Orifice ≤ 0.032″: 5 Watts Without Valve: 2 Watts DeviceNet™ / EtherNet/IP™ Valve Orifice > 0.032″: 10 Watts Valve Orifice ≤ 0.032″: 7 Watts Without Valve: 4 Watts (DeviceNet™), 3 Watts (EtherNet/IP™) EtherCAT® Valve Orifice > 0.032″: 8.5 Watts Valve Orifice ≤ 0.032″: 5.5 Watts Without Valve: 2.5 Watts |
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.